ZhenAn, kādas ir pamatmetodes, ko parasti izmanto mērķa materiāla graudu testēšanai?

ZhenAn, kādas ir pamatmetodes, ko parasti izmanto mērķa materiāla graudu testēšanai?

Mērķa materiāli parasti ir polikristāliski, graudu izmēri svārstās no mikroniem līdz milimetriem. Jo smalkāki graudi, jo lielāks ir graudu robežas laukums un lielāka ietekme uz veiktspēju. Tam pašam mērķa materiālam mērķiem ar smalkiem graudiem ir ātrāks izsmidzināšanas ātrums nekā mērķiem ar rupjiem graudiem. Mērķi ar mazākām graudu izmēra izmaiņām (vienmērīgs sadalījums) rada vienmērīgāku biezuma sadalījumu izsmidzinātās plēvēs. Pētījumi atklāja, ka, ja titāna mērķa graudu izmērs tiek kontrolēts zem 100 μm un graudu lieluma izmaiņas tiek saglabātas 20% robežās, iegūtās izsmidzinātās plēves kvalitāti var uzlabot. Būtisks uzlabojums.

Trīs pamatmetodes mērķa graudu izmēra pārbaudei
1. Salīdzināšanas metode: salīdzināšanas metodei nav nepieciešams skaitīt graudus vai pārtvertos punktus. Salīdzinot ar standarta reitingu diagrammu sēriju, graudu lieluma novērtējums, izmantojot salīdzināšanas metodi, parasti uzrāda noteiktu novirzes pakāpi (±0,5 līmeņi). Novērtēto vērtību reproducējamība un reproducējamība parasti ir ±1 līmenis.

2. Platības metode: platības metode saskaita graudu skaitu zināmā apgabalā un izmanto graudu skaitu uz platības vienību, lai noteiktu graudu lieluma pakāpi. Šīs metodes precizitāte ir atkarīga no aprēķinātā graudu lieluma, un ar pareizu skaitīšanu var sasniegt ±0,25 līmeņu precizitāti. Laukuma metodes rezultāti ir objektīvi, ar reproducējamību, kas ir mazāka par ±0,5 līmeņiem. Galvenais, lai noteiktu graudu izmēru, izmantojot platību metodi, ir graudu skaitīšana, kas skaidri norobežo graudu robežas.

3. Pārtveršanas metode: pārtveršanas punktu skaitu aprēķina, saskaitot nogriežņu skaitu, kur zināma garuma testa līnijas segments (vai režģis) krustojas ar graudu robežām. Graudu lieluma pakāpi nosaka, izmantojot pārtverto punktu skaitu garuma vienībā. Pārtveršanas metodes precizitāte ir atkarīga no aprēķināto pārtvērumu vai pārtvērumu skaita, un to var sasniegt, izmantojot efektīvu statistisko analīzi. ±0,25 līmeņa precizitāte. Pārtveršanas metodes mērījumu rezultāti ir bez novirzēm{6}}, un reproducējamība un reproducējamība ir mazāka par ±0,5 līmeni. Lai nodrošinātu tādu pašu precizitātes līmeni, pārtveršanas metode neprasa precīzu pārtveršanas punktu vai pārtveršanas skaitļu marķēšanu, tāpēc tā ir ātrāka nekā apgabala metode.