ZhenAn īsi aprakstiet faktorus, kas ietekmē mērķa pārklājuma nogulsnēšanās ātrumu?

ZhenAn īsi aprakstiet faktorus, kas ietekmē mērķa pārklājuma nogulsnēšanās ātrumu?

Magnetronu izsmidzināšana ir fiziska tvaiku pārklāšanas metode, ar kuru var uzklāt dažādus materiālus, tostarp metālus, sakausējumus un keramiku, izmantojot īpaši izveidotu magnētisko lauku, kas tiek pielietots diodes izsmidzināšanas mērķim. Nogulsnēšanās ātrums jeb plēves veidošanās ātrums ir galvenais parametrs magnetrona izsmidzināšanas iekārtas efektivitātes mērīšanai. Nogulsnēšanās ātrumu ietekmē daudzi faktori, tostarp darba gāzes veids, darba gāzes spiediens, izsmidzināšanas mērķa temperatūra un magnētiskā lauka stiprums. Trīs galvenie faktori ietekmē magnetronu izputināšanas mērķa pārklājumu nogulsnēšanās ātrumu: izsmidzināšanas spriegums, strāva un jauda.

Izsmidzināšanas spriegums
Izsmidzināšanas sprieguma ietekme uz plēves veidošanās ātrumu notiek pēc shēmas: jo augstāks spriegums, jo ātrāks ir izputināšanas ātrums, un šis efekts ir pakāpenisks un pakāpenisks enerģijas diapazonā, kas nepieciešams izsmidzināšanai. No faktoriem, kas ietekmē izsmidzināšanas koeficientu, vissvarīgākie ir izputināšanas mērķis un izsmidzināšanas strāva. Pēc gāzes izlādes spriegums patiešām ir svarīgs. Vispārīgi runājot, normālas magnetrona izsmidzināšanas laikā, jo augstāks ir izlādes spriegums, jo lielāks ir izsmidzināšanas koeficients, kas nozīmē, ka krītošajiem joniem ir lielāka enerģija. Tā rezultātā cietā mērķa atomi tiek vieglāk izsmidzināti un nogulsnēti uz substrāta, veidojot plānu plēvi.

Izsmidzināšanas strāva
Magnetrona mērķa izsmidzināšanas strāva ir proporcionāla jonu strāvai mērķa virsmā, un tāpēc tas ir galvenais faktors, kas ietekmē izputināšanas ātrumu. Magnetronu izsmidzināšanas vispārējs noteikums ir tāds, ka nogulsnēšanās ātrums ir ātrākais pie optimālā gāzes spiediena (kas mainās atkarībā no mērķa materiāla un izsmidzināšanas projekta). Tāpēc, nekaitējot plēves kvalitātei un atbilstot klientu prasībām, optimālais gāzes spiediens ir piemērots, pamatojoties uz izsmidzināšanas iznākumu. Ir divi veidi, kā mainīt izsmidzināšanas strāvu: mainot darba spriegumu vai darba gāzes spiedienu.

Izsmidzināšanas jauda Izputināšanas jaudas ietekme uz nogulsnēšanās ātrumu ir līdzīga izputināšanas sprieguma ietekmei. Vispārīgi runājot, magnetrona mērķa izsmidzināšanas jaudas palielināšana var palielināt plēves veidošanās ātrumu. Tomēr tas nav universāls noteikums. Ja magnetrona mērķa izsmidzināšanas spriegums ir zems (piemēram, aptuveni 200 volti) un izsmidzināšanas strāva ir liela, lai gan vidējā izsmidzināšanas jauda nav zema, jonus nevar izsmidzināt un tos nevar nogulsnēt. Priekšnoteikums ir tāds, ka magnetrona mērķim pievadītais izsmidzināšanas spriegums ir pietiekami augsts, lai darba gāzes jonu enerģija elektriskajā laukā starp katodu un anodu būtu pietiekami lielāka par mērķa "izputināšanas enerģijas slieksni".